產(chǎn)品特點(diǎn)
1、優(yōu)化參數(shù)后，可獲得能量單一的離子束
2、離子束流及離子能量連續(xù)精確可調(diào)
3、離子能量可調(diào)節(jié)范圍廣、應(yīng)用范圍廣
4、相比等離子體源及無(wú)柵離子源，可獲得更高的離子量
5、通過(guò)不同柵網(wǎng)的選擇，可獲得準(zhǔn)直或大面積發(fā)散離束
